
在內蒙古庫布其沙漠邊緣,成片的光伏板矩陣與現代化氣體工廠交相輝映,勾勒出鄂爾多斯工業特種氣體綠色轉型的獨特圖景。作為國家清潔能源示范基地的核心企業,鄂爾多斯工業特種氣體通過全產業鏈的低碳重構,正在改寫高耗能氣體行業的傳統生產模式。其創新的綠色生產技術體系,不僅使單位產品碳排放量較行業平均水平降低42%,更開創了電子材料制造與生態保護協同發展的新范式。
在電子信息產業的芯片制造環節,鄂爾多斯工業特種氣體扮演著無可替代的角色。芯片制造工藝極為復雜,對氣體純度要求近乎苛刻。例如,在芯片刻蝕工藝中,鄂爾多斯生產的高純三氟化氮氣體作為刻蝕劑,能夠精準地去除硅片表面不需要的材料,從而形成精細的電路圖案。其高純度特性確保了刻蝕過程的穩定性與準確性,有效提高了芯片的良品率與性能。
鄂爾多斯工業特種氣體的研發投入正逐漸向新興技術領域傾斜。在新能源領域,隨著氫能產業的興起,對燃料電池車用高純氫氣以及相關特種氣體的研發成為熱點。例如,由博士閻文斌負責的 “燃料電池車用高純氫氣中微量雜質檢測技術及設備的研發” 項目,已研制出微量雜質分析檢測樣機,性能指標達到國際水平,解決了我國氫能技術發展及產業化所面臨的氫氣低成本雜質檢測難題。